LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量计VDM300
深圳市天铉真空技术有限公司
VDM300 去离子水蒸汽输送模块
实现高流量精度的纯度去离子水蒸汽输送
型号 VDM300
Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于输送纯度去离子水蒸汽的、自足式模块。它的特点是节能设计，能在低温环境下产生纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术，并结合了的数字控制和集成诊断功能，集成在一个小巧，方便的外壳中。
VDM 专为的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统，它能提，使流速更快，控制范围更广，功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术，VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气，从而降低去离子水的侵蚀效果，提高了可靠性，改良了清洁操作。
它还通过一个立的服务端口和直观的图形用户界面，提供人性化的数据记录和诊断功能。