Hitachi日立扫描电子显微镜SU1510/SU-1500上使用的灯丝51E-0240

Hitachi日立扫描电子显微镜SU1510/SU-1500上使用的灯丝51E-0240
HITACHI日立51E-0240扫描电镜灯丝适用于S-3400N/NX主机上
カ一 トリッジフィラメント取扱いについてのこ注意
注:カ一トリッジフイラメントには、フイうメ小毎の高さを调整するためのスペーサーがついています。 カートリッジ フィラメントを交换する场合、必ずこのスペーサーを取り付けてください。
注:カ一トリッジフ方メン小のエミツション电流(oは、フイラメントのバラツキによる増减があります。 エミッション电流の目安は、下表となります。
【エミッション电流の目安】
下记、设定条件にてTAFS」(フィラメントの「オート」を动作させ、エミッション电流を确认します。
机种 加速电 力八亿入 AFS エミッション电流
SU3500 30kV 0 中 ~140μA
S-3400N/NX、S-3700N、SU-1500、SU1510
(才一 トガンバイアス机能:ON) 30kV 自动 中 ~120μA
S-3000N/H、S-3500N/H、S-3600N, SEMEDX-N/H 25kV 中 ~120μA
TD-1000 20kV 0 中 ~110μA
<TM1000,TM3000,TM3030/Plus,TM4000、FlexSEM1000/Ⅱ、SU3800、SU3900> 各装置の取扱説明书保守编(フイラメントの交换)をこ参照ください
【エミッション电流の调整
フィラメント毎のスペーサーでエミッション电流の目安の范囲に入らない场合は、スペーサーの数を増减し 调整を行ってください。1枚増やすと电流は少なくなり、减らすと多くなります。1枚増减することで、エミッション 电流を约±30μA 変えることが出来ます。予备のスペーサーは里盖にあります。
なお、SU3500 では、轴调整画面ノビーム调整タブのガンバイアスの设定を口として、适切な电流値になる ようスライダーを手动调整してご使
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