真空探针台

产品用途：探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
该探针台的承载台为60＊60不锈钢台面，台面高可升温到高350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为x/y/z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中x方向调节范围：0--30mm; y方向调节范围：0—20mm；z方向调节范围：0—20mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需要检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架x/y/z方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。
真空探针台的技术参数：
真空腔体
腔体材质 304不锈钢
上盖开启 铰链侧开
加热台材质 304不锈钢
内腔体尺寸 φ160x90mm
观察窗尺寸 Φ70mm
加热台尺寸 φ60mm
观察窗热台间距 75mm
加热台温度 ﹣196~350℃
加热台温控误差 ±1℃
真空度 机械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa
允许正压 ≤0.1MPa
真空抽气口 KF25真空法兰
气体进气口 3mm-6mm卡套接头
电信号接头 SMA转BNC X 4
电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤500V
探针数量 4探针
探针材质 钨针  
探针尖 10μm
探针移动平台
X轴移动行程 30mm    ±15mm
X轴控制精度 ≤0.01mm
Y轴移动行程 13mm    ±12.5mm
Y轴控制精度 ≤0.01mm
Z轴移动行程 13mm    ±12.5mm
Z轴控制精度 ≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别 物镜
物镜倍数 0.7-4.5倍
工作间距 90mm
相机 sony 高清
像素 1920※1080像素
图像接口 VGA
LED可调光源 有
显示屏 8寸
放大倍数 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm