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通过电解冶炼过程得到的普通铝锭的纯度一般在99%以上,普通的铝锭再经过偏析法、三层电解法或联合区域熔炼法可制得高纯铝锭,然后再对高纯铝锭进行锻造、轧制、热处理等,使铝锭内晶粒变细小、致密度增加以满足溅射所需铝靶材的要求。变形处理完成后,再焊接底板,然后对坯料进行机械加工,后对靶材进行表面清洁处理等。铜、钛和钽等靶材的制造工艺除在具体的熔炼方法和加工工艺参数有不同之外,工艺过程基本相同,粉末冶金铸造法是溅射靶材的另一种重要制造工艺,对于钨钛靶这类由两种熔点差别较大的金属组成的合金靶材则会选择粉末烧结工艺,粉末冶金工艺一般选用高纯、超细粉末作为原料。

2陶瓷靶材。ITO靶、AZO靶、氧化镁靶、氧化铁靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化钛靶、氧化铬靶、氧化锌靶、硫化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化锆靶。铌酸锂靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶、钛酸镧靶、氧化镍靶等陶瓷溅射靶材,3合金靶材。镍铬合金靶、镍钒合金靶、铝硅合金靶、镍铜合金靶、钛铝合金、镍钒合金靶、硼铁合金靶、硅铁合金靶等高纯度合金溅射靶材,在靶材制造的过程中,需要经历粉末冶炼、粉末屁合、压制成型、气氛烧结、塑性加工、热处理、超声探伤、机械加工、水切割、机械加工、金属化、绑定、超声测试、超声清冼、栓验出货。

铋系超导材料近年来一直是国际上研究的热点。铋锶钙铜超导线目前已经成为四大超导材料系列之一,3、核燃料冷却剂:核反应堆离不开铋,铋吸收X射线的能力与铅大体相当。但是吸收热中子截面小而熔点较低,因此LMFR反应堆都选用液态高纯铋作为反应堆燃料U235和U233的载体和冷却剂。铋冷却剂还用于核潜艇。性能优于氯化钠,铋还可以作为防护装置用于核裂变装置。4、替代铅:铅的应用也比较广,像铅黄铜、颜料、铅弹等等。都含铅,但是由于铅的毒性,会严重桅人体神经系统。国际上一直在寻求铅的替代品,铋由于和铅在许多性能方面都很接近。而且是对人体无害的“绿色金属”。



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