1×8mems光开关

简述MEMS光开关的工作原理
什么是MEMS？MEMS （Micro-Electro-Mechanical System）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统，微机械结构的制备工艺包括光刻、离子束刻蚀、化学腐蚀、晶片键合等，同时在机械结构上制备了电，以便通过电子技术进行控制。
可应用于MCS（多播交换光开关）
基于PLC技术及MEMS技术的多播交换光开关（MCS），是下一代可重构光分插复用系统（ROADM）的关键组成部分；每个功能单元由M个立的Splitter和N个立的MEMS光开关组成；提供N个上路（或下路）端口至M个方向的连接。

MEMS光开关可实现对全光网的远程控制，具有可集成化、功耗低、成本低的主要优势。MEMS光开关同时具备了机械式光开关的低插损、低串扰、低偏振敏感性、高消光比和波导开关的高开关速度、小体积、易于大规模集成的优点。各项性能足以满足DWDM全光网络的技术要求，将会是大容量交换光网络开关发展的主流方向。 MEMS器件单批产量高，经济性好，且器件与器件之间重复性好，为降低系统成本提供了更多的可能性。

MEMS光开关与机械式光开关
机械光开关的工作原理是借助机械装置物理地移动光纤来重定向光信号。通过移动棱镜或定向耦合器，将输入端的光导向所需要输出的端口。机械式光开关分主要有3种类型：一是采用棱镜切换光路技术，二是采用反射镜切换技术，三是通过移动光纤切换光路。

光开关是一种多端口光器件，端口配置情况有：2×2，1×N，N×N，其中N×N端口光开关又称OXC（光交叉连接开关、矩阵光开关）。基于MEMS技术的1×N端口光开关，其结构如图所示，它包括一个MEMS微镜、一个准直透镜和一个多纤插针。MEMS微镜通常贴装在一个TO管座上，然后通过TO管帽将准直透镜与TO管座组装成一个组件，在有源调试状态下，将多纤插针与前述组件对准并固定在一起。
而其中光开关是全光交换中的关键器件，可实现在全光层的路由选择、波长选择、光交叉连接以及自愈保护等功能。