铂金叉指电极探针台

铬金薄膜的蒸镀生长。本文所研究的叉指电极结构采用铬、金材料制作。需要在玻璃衬底上生长一层均匀覆盖的薄膜。将上一步工艺过程中清洗好的玻璃片放入电子束蒸发镀膜机中，抽真空后，先蒸镀 50 厚度的铬金属层，再蒸镀1000Å 厚度的金层，后升温到 300℃进行热处理以增强铬金层的黏附性。
紫外光刻。利用匀胶机在玻璃衬底表面旋涂一层均匀的光刻胶，厚度大约为 1~2μm，然后利用光刻机设备以及已制备好叉指电极图形的光刻板在玻璃片表面进行紫外曝光工艺，然后在显影液中显影得到掩模图形。完成光刻后，在铬金金属薄膜表面上就形成光刻胶的电极图案。
小型真空探针台郑科探 KT-Z4019MRL4T是一款高性价比配置的真空高低温探针台，功能，价格较低等特点。高温400℃ 低-196℃ 测试噪声小于5E-13A 可扩展上下双透视窗口用于光电测试 可扩展凹视镜。公司致力于各类探针台，（包括手动与自动探针台、双面探针台、真空探针台、）、显微镜成像、光电一体化的技术研发，拥有国内的技术研发团队，在探针台电学量测方面拥有近十年的经验团队