等离子体源火炬刻蚀单腔ECR等离子体源
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照明:微波等离子体源可用于制造高强度放电灯,如用于投影仪或汽车前灯的金属卤化物灯。 医学应用:微波等离子体源可用于医疗消毒和手术中的组织电凝。
微波等离子体源的设计和操作可能很复杂,需要仔细控制微波功率、气体流量和压力等参数。此外,采取适当的安全预防措施,因为微波辐射和高电压可能存在危险。 总之,2.45GHz 微波等离子体源是一种强大的工具,在许多需要产生等离子体的应用中都有应用。它们提供了一种、灵活的方法来控制等离子体过程,从而实现各种工业和科学应用。
Sirem微波等离子体源源被设计成立或远程操作、良好的电力稳定性和显著低电力损耗。 详细和交互式的界面使它们易于操作、使用,可以通过RS232、RS485, ETHERNET 或现场总线连接进行模拟控制,如CanOpen、Modbus、Profibus等。