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因此,在向单晶炉内不断充入 的同时,还用真空泵将混合气体排出炉外;在排气时,混合气体流经 炉中的加热器、坩埚支持器等处,后经过炉下端的排气口排出。上述图1的单晶炉的不足之处在于单晶炉内空间较大,尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大;另外,现有技术中,从输入管向炉内充入时, 充气气压为1. 3x 103pa,流量为40L/min,因此其消耗量大,生产 成本较高。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,除尘机理示、扩散当含尘气流中的粉尘颗粒粒径小于1Lm 以下,特别小于0.1Lm 时,这些颗粒在随气流运动时不再沿着气体流线绕流捕集物,因而也再不能遵循惯性碰撞或接触阻留的机理被捕集物所捕集分离,而另一捕集机理——扩散在起作用。由于气体分子之间的热运动而产生的不规则运动,使气体分子之间的热运动而产生的不规则运动,使气体分子轰击着粉尘颗粒而使颗粒作扩散,可以使粉尘颗粒均匀地分布于整个气体空间。真空技术网(认为如果有一物体置于气体之中,一些超微颗粒通过扩散而沉降在这物体的表面上,从而使这些超微颗粒从气体中捕集分离、静电力悬浮在气流中的尘粒,如带有一定的电荷,可以通过静电力使它从气流中分离。由于自然状态下,尘粒的荷电量很小,因此,要得到较好的除尘效果,设置的高压电场,使所有的尘粒都充分荷电。凝聚凝聚作用不是一种直接的除尘机理。通过超声波、蒸汽凝结、加湿等凝聚作用,可以使微小粒子凝聚增大,然后再用一般的除尘方法去除。我们设计除尘器时要根据不同的具体情况,考虑一定的需要,采用某种除尘机理或者是几种除尘机理的综合运用。表1 列出几种除尘机理的除尘情况供为参考。
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TD-800型软轴提拉型单晶炉,是根据用户实际需求研发的新产品。是在流动惰性气体环境中,以石墨电阻加热器,将硅半导体材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。它可以生产大规模太阳能电池、集成电路所需要的硅单晶。单晶炉主机系统包括:底座立柱、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀室,副炉室,籽晶提升与旋转机构、液压驱动装置、真空系统,充气系统及水冷系统。炉室结构为顶升式,主炉室和副炉室开启时由液压传动装置实现上移。炉室和副炉室之间,设有浮动式翻板阀室,可在现场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。