定制超精密气悬浮电主轴

比较的气悬浮转台与电主轴一般采用微孔材 料节流的方式，这种材料一般为微孔铜或微孔石 墨，好的材料是微孔石墨，主要原因是石墨在 加工制造过程中不容易造成微孔板结，而微孔铜 在这一过程中容易产生粘接堵塞。同在发热后比 石墨的变形大得多，所以目前气悬浮轴承好用 于微孔节流的材料石墨是。 但这种材料国内以直处于空白状态，国外对 用于晶圆和蓝宝石磨削的气悬浮主轴一直进行技 术封锁，导致该产业链停滞不前。汉锐科特通过 多年努力，成功地完成高刚性大型气悬浮主轴轴 承的微孔石墨的研制，并应用于晶圆、蓝宝石、 陶瓷等半导体超精密加工机床领域。大规格做 到 12 吋，，达到国际水平。同时主轴内置双砂轮结构，可自动切换粗、精砂轮（此专利技术为我司特有的结构专利）。