供应气敏低温测试真空探针台厂家

郑州科探仪器设备有限公司电学材料提供了一套完整的探针台系统
可应用于低温或高温真空环境下被测样品的电学性能测试分析，如：半导体/微电子，电子，机电，物理，化学，材料，光电，纳米，微机电/MEMS，生物芯片，航空航天等科学研究领域，以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。

一、设备概述：

高低温真空腔探针系统主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件接触空气所带来的测试结果误差。

1、探针平台：

探针座采用真空室外置结构，通过探针臂与探针实现同步、线性位移；探针座采用铝制整体式结构，结构紧凑、承载大、精度高、稳定性好等优点，三维调节范围为X、Y、Z±20mm，驱动方式为手动测微头，驱动位置为V型导轨+交叉滚珠中心驱动，产品定向性能稳定，采用精密研磨丝杆M3*0.5分辨率高，配合做大手轮，小刻度0.01mm，精度0.001mm，直线度单轴0.002mm，重复定位精度±2微米，单轴直线度±2微米，固定方式为沉孔螺钉固定。自重1.7Kg，负载5Kg。