云南省曲靖市GB/T16944-2009电子工业用氮气检测
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GB/T 16944 2009《电子工业用气体 氮》标准主要应用于电子工业中的多个领域,特别是在超大规模集成电路(VLSI)制造过程中。氮气在电子工业中有以下几个关键的应用:
洁净室环境 :氮气用于创建无尘、无氧的洁净室(Clean Room)环境,这对于防止杂质对半导体器件造成损害至关重要。
2. 蚀刻和扩散 :在光刻和离子注入等半导体制造步骤中,氮气作为掩蔽气体参与,保护电路图案不受其他元素的影响。
3. 气相沉积(PVD) :氮气被用于某些薄膜沉积过程,如化学气相沉积(CVD),用于形成绝缘层或导电层。
4. 气体注入 :氮气可用于掺杂硅片,改变其电导性质,以制造不同类型的半导体元件。
5. 设备保护 :在存储设备如硬盘驱动器中,氮气可用作气体介质,以提高存储单元的可靠性。
6. 冷却 :在某些情况下,氮气也用作冷却剂,特别是在需要低热传导性能的环境中。 因此,该标准确保了电子工业用氮气的质量控制,包括纯度、湿度、水分含量等参数,以满足精密电子设备生产过程中的严格要求。
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