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MicroChem负性环氧树脂抗蚀剂

MicroChem环氧树脂抗蚀剂由化学放大的环氧基负性抗蚀剂组成，它们具有高度功能性，光学透明性和可接近UV（365nm）辐射的可成像。固化膜或微结构是对溶剂非常抵扣的，酸和碱以及具有的热稳定性和机械稳定性，使其非常适合制造性结构，如像素墙，流体通道和喷嘴，微阵列和间隔物。

SU-8 2000 Serise

SU-8 2000化学放大，i线抗蚀剂非常适合制造性器件结构。这些负色调，环氧基抗蚀剂表现出的耐化学性和低的杨氏模量，使其成为制造微/纳米结构的理想选择，如悬臂，膜和微通道。

材料的使用：

· PDMS模具制造

· 结构部件，如微流体通道，显示像素阵列，墙壁和介电层

· 干蚀刻掩膜

· 快速成型

材料属性：

· 旋涂薄膜从< 1μm＞75μM

· 耐高温和耐化学性好

· 光学透明

· 兼容i-Line成像设备

SU-8 3000已被配制用于改进的粘合性和降低的涂层应力。它被用于需要高结合强度和改进的微结构制造柔性的地方。结果，大大提高了与基板的粘合性。

材料使用：

· 波导

· 微流体

· 邮票

材料属性：

· 改善附着力

· 降低涂层应力

· 垂直侧壁

· 单层涂膜厚度大于100μm