飞秒脉冲激光划痕系统，飞秒激光微纳加工

飞秒脉冲激光划痕系统，飞秒激光微纳加工
飞秒激光微细加工平台，飞秒激光精密微细加工，飞秒脉冲激光划痕系统，飞秒激光微纳加工
飞秒激光微纳加工系统为工业激光微加工研究和生产而研发的成熟的飞秒激光微加工系统，可用于飞秒
镭泰激光技术研究 ，飞秒激光的超快速时间和峰值特性将其能量全部、快速、准确地集中在限定的作用区域,实现对几乎所有材料的非热熔性冷处理,获得传统激光加工无法比拟的、低损伤等特优势。通过与长脉冲作用情形的比较,详细阐述飞秒激光作用的基本原理及其本质特征。介绍了目前应用飞秒激光这一特优势在材料的超微细加工和结构处理、光子器件新型制作、高密度数据全新存储、医疗和生物工程等方面取得的新进展,揭示了飞秒激光在工业加工、微电子、光通讯、光信息和生命科学等高技术领域有着非常广泛的应用前景。
东莞
飞秒激光快速微纳加工用于半导体和难加工材料 
随着微纳制造技术的进步，器件不断的向微型化发展；而器件组分材料的的拓展和性能提升，又反过来对微纳加工技术提出了更高的要求。飞秒激光加工（Lasertech-FM）具有真三维加工能力和较高的加工分辨率，在微光学、微电子、微机械等领域具有广泛的应用前景。然而，利用飞秒激光加工直接烧蚀制备硬质材料微纳结构时，存在加工效率低和表面粗糙度大等问题。利用化学湿法腐蚀去除激光改性区域可以在很大程度上解决这个问题，但化学湿法腐蚀所用的腐蚀液通常为强酸强碱，存在安全问题。而且通常为各向同性腐蚀（晶向依赖腐蚀除外），严重的横向腐蚀引起的图形转移失真，造成了其与半导体工艺的兼容性问题。