江苏射阳直拉式单晶炉回收分子泵回收现场报价
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2-3台¥450000.00
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1-2台¥200000.00
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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接,以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气,影 响排气效果,气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接,以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接,以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通,以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成,石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。
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基于ANSYS软轴型单晶炉提拉系统晃动分析\人工晶体是太阳能光伏发电产业和半导体行业发展所需的核心原材料,单晶炉是制造人工晶体的设备,目前的单晶炉大部分采用软轴提拉系统。由于受到液/固相变规律的制约,单晶炉在实际工作中要求提拉机构既要做旋转运动,又要做上升运动,同时还要保持速度稳定,对中性好,不能出现蠕动和摆动。提拉系统的晃动会引起生长瞬间微观扩散层的变化,造成有效分凝系数的变动,导致微观掺杂剂浓度分布的径向不均匀,引起对流情况不稳定,导致生长时固液界面过冷度的变化,为枝晶生长提供条件[1],会严重地影响单晶体的内在品质。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,用于熔化硅料的外部化料器7,所述外部化料器7的和加料坩埚62相连通,所述外部化料器7的底端和主炉室坩埚21相连通,以便将硅料加加料坩埚62后,硅料漏外部化料器7后被外部化料器7熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚21内。具体地,外部加料器6和外部化料器7之间设置有旋阀64,以便通过旋阀64控制外部加料器6和外部化料器7之间是否连通,所述外部化料器包括装料器71、化料器坩埚72和用于给化料器坩埚72加热以便硅料熔化的热场73,所述装料器71和加料坩埚62相连通,所述化料器坩埚72和装料器71相连通,