气氛保护炉-管式气氛炉

气氛保护炉，主要是在高温烧结的情况通入某种特定气体用于特殊热处理，或者对热处理的样品进行保护防止氧化，使用气氛保护防止氧化。

根据炉膛的不同，分为管式和箱式。其中，管式气氛炉，根据温度不同，低温采用石英管，高温采用刚玉管为炉管，两端配以法兰密封；箱式气氛炉，多为整体焊接箱体，内衬无机保温材料，立炉门硅胶密封。
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主要产品：晶圆真空退火炉、晶圆真空合金炉、半导体材料氧化炉、真空共晶炉、封装外壳烧结炉、非晶材料磁场退火炉、智能温度控制系统和替代进口的扩散炉加热器等，同时承接各种微电子生产线，进口半导体设备的翻新升级改造及各大专院校科研院所的非标研发定制工作。