金华多晶硅铸锭炉回收离子泵回收联系电话
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金华多晶硅铸锭炉回收 离子泵回收联系电话美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,提拉式单晶炉特点籽晶提拉及旋转部件:实现了籽晶轴较高转速时的系统平稳性;籽晶轴旋转及提拉密封均采用的磁流体密封组件,无泄露,长期使用不需充磁;精密花键轴及各驱动直流伺服电机均为进口件,确保系统具有很高的可靠性。提拉头经过严格的静平衡和动平衡测试,高速旋转下籽晶晃动小于2mm,适应半导体工艺需求。坩埚升降及旋转部件:使用超大铸铁立柱、双滚动直线导航、精密滚珠丝杠以及进口等功能件组合设计,确保坩埚系统在超重低速工况下长期平稳运行。浮动式翻板阀设在主副炉室之间,可在热场维持工艺温度的情况下,取出晶体,更换籽晶和补充加料进行连续拉晶。
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金华多晶硅铸锭炉回收 离子泵回收联系电话所述主炉室内设置有主炉室坩埚,所述下驱动装置和主炉室坩埚相连,以便通过下驱动装置动主炉室坩埚升降,所述副炉室和主炉室相连通,所述上驱动装置安装在副炉室的上端,以便通过上驱动装置驱动拉晶,它还包括:外部加料器,所述外部加料器内设置有加料腔,所述加料腔内设置有加料坩埚,所述外部加料器的盖装有上盖;用于熔化硅料的外部化料器,所述外部化料器的和加料坩埚相连通,所述外部化料器的底端和主炉室坩埚相连通,以便将硅料加加料坩埚后,硅料漏外部化料器后被外部化料器熔化,被熔化后的硅料流主炉室坩埚内。进一步提供了外部化料器的具体结构,所述外部化料器包括装料器、化料器坩埚和用于给化料器坩埚加热以便硅料熔化的热场,所述装料器和加料坩埚相连通,所述化料器坩埚和装料器相连通,所述热场套装在化料器坩埚的外侧,便硅料依次进入加料坩埚、装料器和化料器坩埚,并在化料器坩埚内经热场熔化后又进入主炉室坩埚。