电容式接近开关亦属于一种具有开关量输出的位置传感器，它的测量头通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是物体的本身，当物体移向接近开关时，物体和接近开关的介电常数发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化，由此便可控制开关的接通和关断。
技术指标测定
1)动作距离测定;当动作片由正面靠近接近开关的感应面时,使接近开关动作的距离为接近开关的大动 作距离,测得的数据应在产品的参数范围内.
2)释放距离的测定;当动作片由正面离开接近开关的感应面,开关由动作转为释放时,测定动作片离开感 应面的大距离.
3)回差 H 的测定;大动作距离和释放距离之差的值.
4) 动作频率测定;用调速电机带动胶木圆盘,在圆盘上固定若干钢片,调整开关感应面和动作片间的距离, 约为开关动作距离的 80[%]左右,转动圆盘,依次使动作片靠近接近开关,在圆盘主轴上装有测速装置,开 关输出信号经整形,接至数字频率计.此时启动电机,逐步提高转速,在转速和动作片的乘积和频率计数 相等的条件下,可由频率计直接读出开关的动作频率.
5)重复精度测定;将动作片固定在量具上,由开关动作距离的 120[%]以外,从开关感应面正面靠近开关的 动作区,运动速度控制在 0.1mm/s 上.当开关动作时,读出量具上的读数,然后退出动作区,使开关断开. 如此重复 10 次,后计算 10 次测量值的大值和小值和 10 次平均值之差,差值大者为重复精度误差.
电容式接近开关的原理就是当电源接通时，RC振荡器不震荡，当一目标朝着电容器的电极靠近时，电容器的容量增加，振荡器开始震荡，通过后极电路的处理，将振和震荡两种信号转换成开关信号，电容式接近开关的感应圈由同轴金属电极构成，很像“打开的”电容器电极，这两个电极构成一个电容，串接在RC振荡回路中，从而起到检测有无物体存在的目的。