高温真空探针台

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本

该探针台的承片台X/Y/Z三个方向均可在真空环境下调节，其中X方向调节范围：0－30mm；y方向调节范围：0－13mm；z方向调节范围：0－13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测。

1、测试腔、控温及加热系统

测试夹具要求：可实现XYZ移动；

测试腔：同时满足静态/动态测试，304不锈钢材质，可在紫外灯下气密性测试；

测试样品数：同时测试8个样品，可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试；

测量温度：室温---300 ℃

控温精度：±1 ℃

显示精度：±0.1 ℃

测温传感器：PT100

升温斜率：1-10 ℃/min

通讯类型：RS485

加热功率：500 W

测试腔容积<2 L

2、气体配比器

流量计数量：5个，（根据客户需求标定 气体 量程 进气口和出气口）

流量规格：500 ml/min

度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重复精度：±0.2% F.S

响应时间：≤1 s

密封形式：金属密封

接头尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通讯接口：RS485

4、样品12*10mm，探针可移动范围x-y 1-10mm，z轴3-5mm

5、每个样品上方一个紫外灯，四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换，样品上方2cm。

6、加热板上有个镀金衬底，用来连接栅极。