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使肩部近似直角；然后，进入等径工艺，通过控制热场温度和晶体提升速度，生长出一定直径规格大小的单晶柱体；后，待大部分硅溶液都已经完成结晶时，再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体，称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成，进行一定的保温冷却后可以取出。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，浮力提拉单晶炉提拉机构特性分析\一、引言 浮力提拉单晶炉(简称FTD)是利用浮力原理设计成的提拉式单晶炉帕,十多年来,用它先后生长成功了多种晶体〔2一5〕。这种炉子容易制造,成本低,易于推广,目前国内已有几个厂家使用它生产泥酸铿单晶。作为一种发明,FTD也受到肯定和重视。可是,FTD在问世以后,却没有进行深入探讨。虽然FTD的设计有过几次变化,但由于没有掌握设计的则,致使FTD存在不同程度的提拉不均匀现象,严重地影响了它的推广普及。为了改善它的提拉特性,我们研究了FTD浮力提拉原理,对多台FTD作了分析对比,由此找出了提拉不均匀性产生的根源;明确了FTD提拉机构的设计要领。希望这-一卜作能够推动FTD的发展.并有助于单晶的生长研究和生产。二、FTD浮力提拉原理、提拉不均性的产生习C^l 奋幽1吮止~乙二丁~二二二Dr1.甲一一一一一一1。}