特种气体五项检测检漏，氦质谱检漏仪设备厂家方案

电子特气管道氦检漏和5项测试有耐压测试、保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。

特种气体管路，主要是通各种特种气体,特种气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、易燃易爆性等危险，其危害性被不同国家区域和不同的工业组织进行了详细的危险等级分类。对于一个大规模量产的电子工厂，其使用和存储的电子气体数量之多可以毫不夸张地被视为拥有“大规模杀伤性”武器库。任何设计上、施工中、日常运行里存在的安全隐患都会对工厂、人员和环境带来的灾难。

特气管道用氦质谱检漏仪测试前准备
1. 系统成功的的通过了保压检漏。
2. 确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。
3. 先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。
4. 氦质谱检漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。
5. 缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。
6. 对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。

解决方案是采用我们家的A530型特殊氦质谱检漏仪，使用负压喷氦法检漏。具体检测方法是：因管路较长且管径较细，将氢气管路分段密封好，然后对管路抽真空。抽真空时需检测抽空接口的密封性是否良好。当氦检仪所显示的本底值达到要求后，逐段在管路表面喷吹氦气，观察氦检仪的读数是否上升，如果读数上升意味着有管路有漏，对泄露处进行修补后继续进行检测。直至所有管路检查完毕。
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