二手1300MM1550MM光驰镀膜机光学真空电镀机射频源蒸发机
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二手1300MM 1550MM光驰镀膜机 光学真空电镀机 射频源蒸发机介绍
OTFC-1550光学镀膜机配置:
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2 |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
蒸发源:双枪,伞一个,上架伞车一台 |
离子源:17寸射频源 |
排气系统:光驰镀膜机泵组一套 |
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |
重量:约11000kg |
二手1300MM 1550MM光驰镀膜机 光学真空电镀机 射频源蒸发机镀膜机的维护
设备的正常运转我们需要更换油。将泵启动,拧开放油螺栓,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,观察油视镜倒入新油加到一定额度,平常换油时应将油盖打开,有需要时用布擦干净箱内污垢。
扩散泵连续使用6个月以上,抽的速度会显然变慢,当操作不当应拆去联结水管,卸下电炉盘,将喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到标准,否则要进行检漏。检查联接处的密封圈是否正常。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。
二手1300MM 1550MM光驰镀膜机 光学真空电镀机 射频源蒸发机照片