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电子无尘车间
电子无尘车间结构材料:
1、净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙 角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2、地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3、送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4、送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。
电子无尘车间净化参数:
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000级≥30次。
压差:主车间对相邻房间≥5Pa。
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季<26℃;波动±2℃。
湿度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A)。
新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。

电子无尘车间设计方案:
对于常规电子厂房洁净室空调的设计,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。总之,具体的方案选择根据具体情况而定。

无尘车间的分类:
1.乱流式(Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净的。气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此型式适用于无尘室等级1,级。
优点:构造简单、系统建造成本,无尘室之扩充比较容易,在某些用途场所,可并用无尘工作台,提高无尘室等级。
缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制
程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。
2.层流式(Laminar)
层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:
⑴水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。
优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。
⑵垂直层流式:房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖,空气由上往下吹,可得较高之洁净度,在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点:管理容易,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。
缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。
3.复合式(Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。
⑴洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域覆盖使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。
此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。
洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
⑵洁净管道(Clean Tube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。
⑶并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。
洁净工作台:等级Class 1~100级。
洁净工作棚:为在乱流式之无尘室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间,采用立之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较之洁净空间,其等级为10~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10m2以下,四支支柱并加装活动轮,可为弹性运用。

无尘车间通道设计:
设计: 操作人员是各种污染物的携带者,所以人员在进入净化车间前要进行人身处理,使之达到净化要求,笔者认为一般是通过采用人员换鞋,更衣及风淋处理等措施达到净化要求后再进入洁净区,核心生产洁净室南侧支持区为非洁净区,与核心区联系紧密,设有生产办公室,洁净区的就设置在这边,操作人员人身净化程序如下:换鞋,二次更衣,穿洁净服,进入洁净前室,经过风淋室通道,进入净化车间。
物流设计: 货物搬入的净化处理也至关重要,通过设置闸间将洁净区和设备搬联系起来,闸间内设有空气吹淋设施。货物由北侧支持区设备搬搬入,拆包预装后,经过闸间吹淋后进入洁净区。洁净由于气流组织的需要,洁净区内地面设置了高架地板,高架地板的选型也是物流通道要考虑的因素,因此规划好物流搬入路线,使搬入通道上的地板承载力满足要求,也是不能忽视的。  
气流设计: 气流组织在净化车间设计中占有重要地位,空气净化一般通过过滤空气,气流组织,空间静压等措施达到洁净室内环境的要求。一般采用初效,中效,过滤系统,上送下回垂直单项气流组织形式。顶棚上部为静压箱,气流由静压箱,通过过滤器加压过滤后进入洁净区,流经生产操作区域,再通过地面开孔架空地板进入下技术夹层,再通过侧墙的回风夹道回到空调器。

无尘车间振动控制:
1、无尘车间和周围性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净厂房的管道,应采取积极隔振措施。
2、无尘车间内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精仪器仪表的允许环境振动值进行比较,以确定对其采取必要的隔振措施。
3、精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应考虑减少发生量、保持洁净厂房内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时,应地气源进行处理,使其达到洁净厂房的空气洁净度等级。

无尘车间防火和疏散:
1、洁净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体, 其耐火极限不宜小于0.25小时。
2、无尘车间内一般的生产工作间的火灾危险性,可按附录三进 行分类。
3、甲、乙类生产的洁净厂房,宜采用单层厂房。其防火墙间 大允许占地面积,单层厂房应为3,000平方米,多层厂房应为2,000平方米。
4、甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净厂房, 其顶棚和壁板(包括内部填充物)应为非燃烧体。
5、在一个防火区内的综合性厂房,其洁净生产与一般生产区域 之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小 时,隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙 应采用非燃烧材料紧密填塞。

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