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排气筒与排气口相通。上盘的几个圆孔是除尘区域和排气区域通道。含尘气流未从上盘12 个圆孔排出去之前，实际的气流运动是很复杂的。除切向和轴向运动外还有径向运动。这样含尘气流会反复经过金属网(支撑内、外层金属网的金属杆相互错列，很明显能够增加气流穿过金属网的次数)。前文已详细论过除尘机理,很容易看出惯性碰撞、接触阻留、筛滤作用、扩散在这时将成为除尘的主要作用力。尘粒与气流分离界面是内、外两层金属网(包括上盘在内)。分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，具体实施方式、本实施例的直拉式单晶生长炉包括输入管12、与氩 气输入管12相连通的环形气体分布器11;其特征在于经输入管12 输入的气压为0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量为30L/min。还包括设于该炉的坩埚支持器14下方和该炉底部的排气口 13之间 的碗形的气流导向装置20;其包括设于气流导向装置20底部的中轴 孔2-l、设于所述中轴孔2-1两侧的一对电极孔2-2、以及设于所述中轴孔 2-1两侧并与该炉的排气口 13相对的通气孔2-3;该炉的石墨中轴21穿过所述气流导向装置20的中轴孔2-1，该炉的一对电极柱15分别穿过所述电 极孔2-2，该炉的排气口 13与气流导向装置20的各通气孔2-3相连通，气 流导向装置20的上端部2-4设于该炉的保温筒17与发热体16之间。