单腔ECR等离子体源等离子体源火炬PECVD系统

电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

Sairem是一家专注于射频与微波技术的公司，其微波源产品可应用于各种领域的加热和干燥需求，包括医药领域的药材加热。 在药材加热方面，Sairem的微波源可以提供高频率、高功率的微波能量，用于对药材进行加热处理。这种加热方式具有快速、的特点，可以准确控制加热温度和加热时间，有效提高药材的品质和功效。 Sairem的微波源产品还可以与其他设备和系统集成，实现自动化的药材加热过程，提高生产效率和产品质量。 总之，Sairem的微波源在药材加热方面有着广泛的应用前景，可以满足药材加热的需求，并提高药材的质量和效果。

Sairem 微波等离子体源可用于化工污染处理。它利用微波能量来加热和处理化工废物，例如污水、有机废物或化学废料。这种技术可以有效地降解有害物质，提高处理效率，并减少对环境的影响