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周期式电阻炉的分类A. 箱式炉 B. 台车炉(分为自行式和牵引式),用作退火之用,加热后工件随炉冷却 C. 井式炉 D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移) E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座,适用于大型炉子)F. 转筒式炉 G. 密封箱式炉(又称为多用炉,可进行渗碳、光洁淬火、碳氮共渗等热处理工艺。
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硅片是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。科学技术的发展不断推动着半导体的发展。自动化和计算机等技术发展,使硅片(集成电路)这种高技术产品的造价已降到十分低廉的程度。这使得硅片已广泛应用于航天、工业、农业和,甚悄悄进入每一个家庭。硅片回收利用介绍硅片回收再利用是一种从废物中分离出来的有用物质经过物理或机械加工成为再利用的制作如废玻璃、废金属、硅片,废电池片的回收再利用指以将再次生产的方式。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,DL-78型单晶炉的热场和减压工艺\1前言集成电路生产的发展一方面不断缩小元件尺寸,以提高集成度;另一方面不断扩大硅片直径以减少芯片的离故度和降低成本。相应地,作为集成电路基础材料的硅单晶生产也在不断地提高其技术质量指标和增大单晶锭的直径和长度,以满足电路的要求和降低自身的生产成本。在国外市场上,硅晶体直径大致每4~5年增长1时(25.4mm),相应地,生产投料重也由1公斤逐渐发展为3~5公斤、8~12公斤、15~刘公斤和朋~6O公厅等几个等级。在这发展中,有两个条件是相辅相成、共同进步的,这是单晶炉和拉晶工艺。