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美国国外以美国KAYEX为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,进一步为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置,并方便外部化料器的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂,所述底座上设置有立柱,所述化料器旋臂铰接在立柱上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂上,所述外部化料器连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器上升不干涉主炉室坩埚上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器随化料器旋臂一起转动。进一步提供了一种化料器升降驱动装置的具体结构,所述化料器升降驱动装置包括支撑杆、丝杠、电机和连接块,所述支撑杆连接在化料器旋臂上,所述丝杠可旋转地支承在支撑杆上,所述电机连接在丝杠上,所述连接块通过螺纹连接在丝杠上,所述外部化料器连接在连接块上,以便通过电机驱动丝杠旋转,进而将丝杠的旋转运动转换为连接块的直线运动,并通过所述连接块带动外部化料器升降。
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无锡江阴离子泵回收 无锡江阴单晶炉回收本文结合某单晶炉产品的研制 ,设计了一种实用的单晶炉提拉速度控制系统 ,并在实际生产中获得成功应用。2 设计的关键图 1示出了单晶炉提拉的工艺过程。提拉控制系统的驱动电机转速 n经减速器、齿轮齿条减速后带动提拉杆上下运动。根据硅单晶生产工艺 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2~ 1 0 .0 ) mm/h内无级调节 ,它相对于给定信号的线性精度 ± 2 %。经折算后 (见下节式 ( 3) )

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