贵州省遵义市GB/T16944-2009电子工业用氮气检测
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江苏科海检验有限公司是一家依法成立并能够承担相应法律责任的第三方气测中心。支持全国上门取货、寄样检测,检测周期短费用低,欢迎来电咨询
GB/T 16944 2009是中国国家标准,它针对的是电子工业用氮气的质量标准和检测方法。这个标准可能包括对氮气纯度、气体组成(如提到的氡、氧、氩、二氧化碳、 、丙 、乙 、六氟化硫等)、微量元素以及特定污染物(如锝元素)的要求。氮气在电子工业中应用广泛,例如作为半导体制造过程中的清洗剂、保护气氛、或在光刻胶暴露和蚀刻等环节中。 具体检测方法可能会涉及以下步骤:
纯度测定 :使用气相色谱法(GC)、红外光谱法(IR)、质谱法(MS)或其他气体分析技术来测量氮气的纯度,如99.999%或更高。
2. 气体组分分析 :对于非纯氮的其他气体成分,可能采用气相色谱 质谱联用(GC MS)、电化学传感器阵列或在线监测设备进行分析。
3. 微量元素检测 :对于痕量元素如锝,可能使用原子吸收光谱(AAS)、原子荧光光谱(AFS)或同位素分析技术。
4. 杂质总量检测 :包括水分、氧气、氩气等潜在杂质的总量检测,确保氮气在使用过程中不会引入额外的问题。
5. 气体泄漏检测 :检查瓶阀、连接管路的密封性以防止外部气体混入。
6. 安全性评估 :确认氮气瓶的压力、温度和安全阀的功能符合标准要求。
7. 定期校准 :分析仪器需定期校准以结果的准确性。
8. 记录与 :每次检测后会生成详细的检测 ,包括结果、日期、操作员签名以及是否符合GB/T 16944 2009标准。 请注意,实际的检测方法和程序可能会根据实验室的具体设施、设备和技术更新而有所不同。如果你需要 的检测方法或具体的执行步骤,建议查阅 的版本或者联系 的气体检测机构获取 信息。
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