河南省新乡市检测机构电子工业用气体氩气检测
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电子工业用氩气的检测通常依据中国国家标准来确保其质量和适用性。以下是一些与氩气相关的国家标准: 1. **GB/T 16945-2009**:这个标准适用于从空气或合成氨尾气中提取的液态和气态氩,特别强调了电子工业用氩气的规格,包括其在吹扫、保护、增压以及特定工艺如化学气相沉积(CVD)、溅射、等离子体和活性离子刻蚀等方面的应用。标准会涉及气体的纯度、组成、杂质含量和可能的气体分析要求。 2. **GB/T 4845-2018**:这是关于氩气质量的标准,详细规定了气态氩气的组分、纯度、杂质控制,如水分、氧气、氮气和其他潜在污染物的含量。 3. **GB/T 19651-2018**:工业氩气的技术要求标准,除了纯度,还涵盖了压力、流量、湿度、酸度、含尘量等指标,并且包含了安全存储、运输和使用的规定。 4. **高纯氩气**:电子工业可能需要高纯度的氩气,这通常意味着纯度至少达到99.999%,或更高,以在精密电子设备制造中的应用效果。 在实际操作中,电子工业用氩气的检测可能会根据具体应用领域和设备制造商的要求进行,比如对于半导体制造,可能需要更严格的纯度标准。因此,购买和使用氩气时,企业通常会参考这些国家标准,并可能与供应商协商定制满足特定工艺需求的气体规格。