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光学干涉测量技术在精密加工中的应用:光学干涉测量技术利用光的干涉原理,通过测量光波在物体表面反射或透射时产生的干涉图样,来测定物体的形状、表面粗糙度等参数。该技术具有高灵敏度和非接触测量的优点,在光学元件加工、半导体制造、微纳米加工等领域得到广泛应用,推动了这些领域向更和更复杂结构的发展。