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机组中水环泵的作用主要是造成罗茨泵所需的预备真空,对于一般情况而言,单级水环泵极限真空度不高,而我国生产的罗茨泵要求的预真空又比较高,因此实际上我们一般不用单级水环泵作为罗茨泵的前级泵,而是采用了极限压力较低的双级水环泵作为前级泵使用,这样还可以降低机组的极限压力。

(1)扩散泵真空机组
以扩散泵为主泵的真空机组的极限真空度为10-7~10-8Pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对极限真空度的影响,可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵,以降低压缩比,减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱,可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力,能获得10-11Pa的真空。
(2)分子泵真空机组
以分子泵为主泵的真空机组其极限真空度为10-8Pa,特点是启动快,油的污染小。在机组内增加液氮冷阱,可以抽速。机械泵出口处设有水冷阱,可以防止油蒸气进入系统。
(3)无油真空机组
不用油做工作液和不用有机材料密封的真空机组称为无油真空机组。常用的主泵有低温泵、钛泵、溅射离子泵等,可得到极限真空度10-7~10-8Pa。与有油真空机组比较,它有如下优点:
可获得清洁真空、源;
当无油真空泵启动后,即可隔离预抽泵;
如突然抽气停止,不会污染系统;
无油、无声、无振动,改善了工作环境;
极限真空度高,抽速大,抽气时间短。

真空机组如何去选择,要注意哪些事项?
真空机组如何去选择,要注意哪些事项?如何去选一台好真空机?但是选择真空机要选对压力,不然对企业起不到用途,下面为大家分享关于真空机知识:
组成泵真空机组,泵与前级泵的抽速比的选择是很重要的。因为泵的压缩比很有限。这一压缩比决定着前级泵的容越,因压缩比是两者抽速的反比。一般压缩比在2~10内选取。另外应当考虑对预抽时问的要求。真空设备是作为设备应用于各种机械设备中的.如果正常工作时间远比预抽时间,可选较小的前级泵(压缩比可大些),若真空窒较大.而且要求很快预抽,就用较大的前级泵。有时为了更好地发挥设备的效率,机组前装有一台较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。
真空机组如何去选择,要注意哪些事项?
对真空泵机组的极限压力的要求,也是选择前级泵考虑的,对极限真空度要求较高(达1×10-3Pa~1×10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阎机械泵作为前级泵。极限真空度要求在(1×10-2Pa~1×10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度要求在133~1333pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。
当选用往复式或液环式粗真空泵作为真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为真空泵的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成真空泵的排气温度高而不能正常工作。选用前级泵时还考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的。如果含有腐蚀性气体.就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体,否则将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。
为了获得在低压力(1-100pa)时的高的抽气速率,可用一台真空泵作为另一台真空泵的前级泵组成的或机组,此时真空泵之问的抽速比一般在2~5之间。

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