AP/PFPLASMA电源维修等离子变频电源

维修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。电源维修的时候，需要检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，然后需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换器件。

等离子清洗机的原理是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活跃粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。

等离子表面改性之后，其材料表面会变得更加粗糙，它让材料表面发生了刻蚀，在一定程度上满足了人们对材料表面的清洗要求。等离子清洗技术要比其他类型的清洗方式要更具优势，能够大限度的满足人们多元化的需求。

其次，经过等离子表面清洗之后，材料表面就会更具有反应性，在这个过程中，活粒子在撞击材料表面之后，其分子间的化学键就会被打开，然后产生大量的大分子基，说白了这个过程就是让材料表面更加洁净，例如可提升玻璃表面的亲水性。

等离子清洗设备还可以通过利用对气体施加足够的动力使之离化成为等离子状态，利用这些活跃组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、改性、光刻胶灰化等的目的。