Shimadzu TMP-803M岛津磁悬浮分子泵维修，Shimadzu TMP-803LM/TMP-803LMC分子泵进气法兰口VG150/ICF203/ISO160B，出气法兰口KF40，抽速可达到800L/s，转速为35000rpm，极限压力1x10-11Torr(1.3x10-11 mbar)，Shimadzu TMP-803LM岛津磁悬浮分子泵对应的控制器为：Shimadzu EI-D1003M。
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