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X荧光光谱仪厚度测试仪膜厚检测仪XAU-4CS多功能XRF

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X荧光光谱仪 厚度测试仪 膜厚检测仪 XAU-4CS多功能XRF

XAU-4CS多功能XRF

性能优势:1.微小样品检测:小测量面积0.03mm²(加长测量时间可小至0.01mm²)2.变焦装置算法:可改变测量距离测量凹凸异形样品,变焦距离可达0-30mm3.的EFP算法:Li(3)-U(92)元素的涂镀层,多层多元 素,甚至有同种元素在不同层也可测量。   4.的解谱技术:减少能量相近元素的干扰,降低检出限。   5.探测器:S

  • 测量面积:小0.03mm²

  • 镀层分析:23层镀层24种元素

  • 仪器特点:RoHS卤素有害元素检测

  • 仪器优势:同元素不同层分析



  • XAU-4CS是一款设计结构紧凑,模块精密化程度高的光谱分析仪,采用了下照式C型腔体设计,是一款一机多用型光谱仪。

    应用核心EFP算法和微光聚集技术,既保留了测厚仪检测微小样品和凹槽的性能,又可满足微区RoHS检测及成分分析。

    被广泛用于各类产品的质量管控、来料检验和对生产工艺控制的测量使用。



    1. 成分分析范围:铝(Al)- 铀(U)

    2. 成分低检出限:1ppm

    3. 涂镀层分析范围:锂(Li)- 铀(U)

    4. 涂镀层低检出限:0.005μm

    5. 小测量直径□0.1*0.3mm(小测量面积0.03mm²)

        标配:小测量直径0.3mm(小测量面积0.07mm²)

    6. 对焦距离:0-30mm

    7. 样品腔尺寸:500mm*360mm*215mm

    8. 仪器尺寸:550mm*480mm*470mm

    9. 仪器重量:45KG

    10. XY轴工作台移动范围:50mm*50mm

    11. XY轴工作台大承重:5KG






    广泛应用于半导体行业、新能源行业、5G通讯、五金建材、航空航天、环保行业、汽车行业、贵金属检测、精密电子、电镀行业等多种领域。

    • 微小样品检测:小测量面积0.03mm²(加长测量时间可小至0.01mm²)

    • 变焦装置算法:可改变测量距离测量凹凸异形样品,变焦距离可达0-30mm

    • 自主研发的EFP算法:Li(3)-U(92)元素的涂镀层,多层多元素,甚至有同种元素在不同层也测量

    • 的解谱技术:减少能量相近元素的干扰,降低检出限

    • 探测器:SDD硅漂移窗口面积25/50mm²探测器

    • 光路系统:微焦加强型射线管搭配聚焦、光路交换装置

    • 多准直器自动切换


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