江苏兴化多晶硅铸锭炉回收控制柜回收附近公司
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单晶炉简介编辑/单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。购买技术主要要求1.单晶炉装料量(单台机产能多少) 2. 能拉多长、几寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品质(少子寿命、电阻率、碳氧含量、位错密度) 5设备制造工艺控制保 6自动化控制程度 7设备主要关键部件的配置等 。
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提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成、副室:主要是副室筒以及上下法兰组成、 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔、下炉筒:包括抽真空管道、底座机架:全铸铁机架和底座? 坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成、分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等、管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管’电源以及电控柜:电源柜 滤波柜、控制柜、以及连接线等等、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,本发明的直拉式单晶生长炉中,经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长,平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L,有效降低了生产成本,且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性,还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中,碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间,且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置,有效地减小了炉内空间,便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出,且利于减少热能和的消耗量,使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外,由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通,