臭氧杀菌机理以氧化作用破坏微生物膜的结构实现杀菌作用。臭氧作用于细胞膜，使膜构成成份受损伤而导致新陈代谢障碍，臭氧继续渗透穿透膜而破坏膜内脂蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，导致细胞溶解、死亡。而臭氧灭活病毒则认为氧化作用直接破坏其核糖核酸RNA或脱氧核糖核酸DNA物质而完成的。
常用的气源按用途大体可分为下列几种：
1）干燥气源——空间消毒、自来水处理、游泳池水、养殖水、生产循环水、中水回用等
2） 富氧气源——臭氧浓度需求较高的使用场所，如纯净水、矿泉水、污水处理、医药食品车间等
3） 工业氧气源——纯度要求较高、浓度需求较重要、小气量应用场所等
3. 用于大型空间的消毒应用，如医药、食品等行业车间的杀菌消毒，一般应安装管路分通到车间内，使臭氧分布均匀，也有的通入中央空调风道管路，但这种方式有时会造成空调风道金属件的腐蚀和臭氧消耗。
4. 用于水处理，则主要配置臭氧溶于水的投加装置，一般分为曝气式（直接曝气或氧化塔式）、文丘里射流器式、旋涡负吸式或HICHINE泵混合式样等几种，以上其溶于水效率可依次提高，HICHINE泵式效率可达95%以上。
1）曝气式：自来水、养殖水、生产循环水、生活污水、工业废水等
2）文丘里射流式：二次供水、纯净水、矿泉水、养殖水冷却、游泳池水等
3）负吸式：小水体应用
4）气液混合泵式：小水体应用或臭氧消毒水应用
水中应用浓度
◎水应用中臭氧溶解度在0.1mg/L～10mg/L之间。低值作为水消毒净化要求的低浓度，高值作为“臭氧水消毒剂” 可达到的浓度值。
◎自来水臭氧睁化，国际常规标准为0.4mg/L的溶解度值，保持4分钟，即CT值为1.6。
◎水中余臭氧浓度保持在0.1～0.5mg/L作用5～10min可达消毒目的。
◎臭氧水消毒灭菌是的，消毒作用在瞬间发生。清水中臭氧浓度一旦达到，在0.5～1分钟内就杀死细菌，在浓度达4mg/L，在1分钟内乙肝病毒灭活率为。
◎Herbold报道：20℃条件下，水中臭氧浓度达0.43mg/L时，可将大肠杆菌杀灭，10℃时仅需0.36mg/L即可全部杀灭。
◎臭氧浓度为0.25～38mg/L时，仅需几秒或几分钟完全灭活甲型肝炎病毒（HAV）。
◎矿泉水中臭氧溶解度在0.4～0.5mg/L时，即可满足杀菌保质要求。合理的臭氧投放量为1.5～2.0mg/L。
◎瓶装水处理应达0.3～0.5mg/L的臭氧溶解度值，要求投加臭氧应满足 1m3水2gO3的发生量。根据实践经验，臭氧发生浓度8mg/L时容易达到浓度。
应用的机理与性
食品行业应用臭氧的目的有两个方面：一是杀灭微生物－杀菌消毒；二是氧化分解有机或无机物污染气味－除臭净化 。两方面的应用基础均依赖于O3的强氧化性能和不稳定易分解的特性 。
杀菌消毒
臭氧为气体消毒剂，其杀菌过程为强氧化作用使微生物细胞中的多种成分产生反应，从而产生不可逆转的变化而死亡。一般认为，臭氧灭活病毒是通过直接破坏其核糖核酸(RNA)或脱氧核糖核酸（DNA）物质完成的。而杀灭细菌、霉菌类微生物则是臭氧作用于细胞膜，使膜构成成分受损伤，导致新陈代谢障碍并抑制其生长，臭氧继续渗透破坏膜内组织，直至杀死。湿度增加提高杀灭率，是由于高湿度下细胞膜膨胀变薄，其组织容易被臭氧破坏。
除臭净化
臭氧去除异味性能。依靠其氧化性能可快速分解产生臭味及其他气味的有机或无机物质。臭味的主要成分是胺R3N、硫化氢H2S、甲硫醇CH3SH等。臭氧对其氧化分解，生成物没有气味。
功能特点：
* 消毒杀菌率高：对细菌的杀灭率是紫外灯1.5至5倍 。
* 广谱性：对多种病毒，几乎所有细菌、微生物都有效无二次污染；消毒后，无任何有毒有害物质的残留。
* 保洁时间长：通过气体的弥散到达各个角落。
* 使用安全、操作方便：程序自动定时，红外遥控 ，具有定时开，关机延时等功能。
壁挂式臭氧发生器适用于医院病房，药厂洁净生产车间，包装间，食品加工企业，超市，办公室，茶水间，吸烟区，美容院，宾馆酒店客房，幼儿园，学校教室，图书馆，KTV包房，实验室，卫生间，更衣室，新装修的住房，等场所的消毒杀菌。