一般的电热（鼓风）无尘干燥箱均设有温度均匀度参数：自然对流式的干燥箱为工作温度上限乘3%，强制对流式的干燥箱为工作温度上限乘2.5%。惟电热真空干燥箱不设温度均匀度参数，这是为什么？真空干燥箱内依靠气体分子运动使工作室温度达到均匀的可能性几乎已经没有了。因此，从概念上我们就不能再把通常电热（鼓风）干燥箱所规定的温度均匀度定义用到真空干燥箱上来。在真空状态下设这个指标也是没有意义的。热辐射的量与距离的平方成反比。同一个物体，距离加热壁20cm处所接受的辐射热只是距离加热壁10cm处的1/4。差异很大。这种现象与冬天晒太阳时，晒到太阳的一面很暖和，晒不到太阳的一面比较冷是一个道理。由于真空干燥箱在结构上很难做到使工作室三维空间内的各点辐射热的均匀一致，同时也缺乏的评估方法，这有可能是电热真空干燥箱标准中不设温度均匀度参数的原因。
保养方法
日保养
1． 打扫表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生。
2． 检查电流表电流跟正常时是否一样，如有异样，通知维修工检修。
3． 突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。
4． 检查风机运转是否正常，有无异常声音，如有立即关闭机器并通知维修工检修。
月保养
1． 检查通风口是否堵塞，并清理积尘。
2． 风机运转是否正常。
3． 维修工检查电流是否正常。
4． 检查温控器是否准确，如不准确，请调整温控器的静态补偿或传感器修正值。
5． 检查发热管有无损坏，线路是否老化。
6． 检查延时器是否准确，误差是否允许。
无尘洁净烘箱是一种新型可营造无氧的恒温环境的电热鼓风干燥箱，在加温工作的同时充入氮气，适用高温易氧化产品烘烤，可满足半导体电子、金属、晶圆、油墨、医疗卫生仪器、仪表，工厂，高等院校，科研部门等相关单位作生产烘实验的需要。该烘箱采用不锈钢工作室(满涅制造、覆套不锈钢加热器加热，充入惰性气体，因此干娱箱内造成洁净(可选装耐高温过滤器，达到洁净无尘要求)和温度均匀的微氧高温环境(含氧浓度20-500PPM )，有助于提高产品质量，该箱外形美观，使用方便控温灵敏
无尘洁净烘箱由外壳、烘烤区、加热系统、转子流量计，气体减压调节阀、排气口等部件组成。箱体由簿钢板加工焊接而成、烘烤区内壁选用不锈钢板、箱体与内室之间填充硅酸铝纤维作保温材料。箱门与烘烤区边框装有保温密封条(耐高温门封条和迫紧装置)因此有效地了箱体的密封性能、节约氮气，洪烤区内配置抽动的三层载物网板( 可按需设计)。
无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁，长期不用应罩好塑料防尘罩，放在干燥的室内，高温状态下禁止打开箱门，加热过程中务必风机是正常运转，严禁安装在潮湿的环境下运行，操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法，操作方法及保养知识。