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X射线荧光光谱仪有多种,以能量色散和波长色散为主。 1. 能量色散荧光光谱仪 能量色散型仪器大的优点是不破坏被测的材料或产品,也不需要人员操作,缺点是对铬和溴是总量测定(一般不影响使用,因为很多情况可以判定,如测铬总量超标,常可知是不是六价铬超标,特别是溴,如被作为阻燃剂加入,不管是那种溴,总量超标就不合格)。


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而RoHS要求中的主要测试物质如下表:
《电子信息产品中有毒有害物质的检测方法》(以下简称《检测方法》,标准号为 SJ/T 11365-2006)对RoHS要求中有害元素测试方法给予了限定。其中X射线荧光光谱法(XRF)作为种快捷、方便的方法被制定为快速筛选方法。使用X射线荧光光谱法(XRF)可对铅(Pb)、(Hg)、镉(Cd)、铬(Cr)以及(Br)五种元素的相应标准样品进行测试。可是基于 XRF的原理所获得的结果只是元素的含量,也就是说如果这种筛选测试得到铬(Cr)或(Br)的含量,即使他们**标也并不能代表有害物(Cr VI)与阻燃剂PBB和PBDE)**标,这个测试结果(指含有)只是含有相应有害物质的必要条件而并非充分条件。这也就是限值表中没有这两种有害物质不合格的限值判断依据的原因。

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