AIM冷阴极真空计
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AIM冷阴极真空计
Edwards AIM倒磁控管冷阴极真空计,在一个紧凑的装置中包含规头和控制器。从科学仪器到工业制程的多种应用场合,均已证明AIM真空计坚固可靠。标准AIM真空计具有线性输出,nAIM支持RS232和RS485信号输出,易于与计算机或 PLC 结合使用。
特点
电子模块与规头合并在一起,降低了系统成本并节省了宝贵的机架空间
低输出阻抗和集成的法拉第屏蔽提供级别较高的抗扰性,并允许使用长电缆(长可达 100 m)
低磁场型 XL 适用于敏感性应用,例如质谱分析和电子显微镜。
可更换的管体允许快速更换管件而无需预校准
已获 CSA C/US 认证
范围广泛、符合标准的内部电源可使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电,对电压波动有很好的承受力
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC 和进行故障输出指示
nAIM支持串口信号输出:RS232/RS485
电极维修套件允许用户进行清洁和维护
特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电
宽广的压力范围
应用
适用于处于 1 x 10-2 to 1 x 10-9 mbar 范围内的所有需要可靠稳定的压力指示的真空应用。
典型制程包括:
一般真空到工业镀膜机
真空炉
科学仪器
半导体等各种应用。
技术规格
压力范围 | |
AIM-X | 10-2 至 10-9 mbar |
准确度* | 通常为 ±30% |
大过压 | 10 bar (145 psi) |
电源供给 | +13.5 至 +36 V 直流(1 V 波动) |
功耗 | 2 W |
输出信号(AIM) | 2 至 10 V 直流 |
输出信号(nAIM) | RS232或RS485 |
设 | 开路集电极晶体管 |
电压 | 40 V 直流 |
电流 | 100 mA |
温度范围 | |
工作 | +5 至 +60°C |
存储 | 0 至 +70 °C |
暴露于真空中的材料 | |
NW25 型 | 不锈钢 304/306/347、氟橡胶、玻璃 |
内部体积 | 26 cm3 |
重量 | 0.81 kg |
外部接口连接器 | FCC68/RJ45 插座,D-sub 9针接口 |
真空接头 | NW25 |
标准 | |
电磁兼容性 | EN 61326 |
(B 类排放) | |
外壳等级 | IP40 |