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为了方便副炉室3移动到取晶位,并方便副炉室3的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13,所述所述副炉室3通过副炉室旋臂14连接在副炉室升降驱动装置12上,以便通过副炉室升降驱动装置12驱动副炉室旋臂14升降,并通过副炉室旋臂14带动副炉室3升降,所述副炉室旋转驱动装置13连接在副炉室升降驱动装置12和副炉室旋臂14之间,以便使得副炉室旋转驱动装置13随副炉室旋臂14一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室旋臂14旋转,副炉室旋臂14又带动副炉室3旋转。蓝宝石长晶炉回收,多晶硅铸锭炉回收,提拉式长晶炉回收,多晶长晶炉回收,卧式长晶炉回收,拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,大直径硅单晶的制备与数值分析\大直径硅单晶是微电子工业的基础材料,广泛应用于集成电路备件和硅片制造领域,是现今信息社会的基石。根据半导体设备材料产业协会(SEMI)的报告,大直径硅单晶的需求依然旺盛,450mm硅单晶要继续开发研究。当前主流集成电路设备用部件急需400mm硅单晶并提出低成本的要求,开发400mm硅单晶和研究晶体制备的工艺过程,无疑具有重要的理论意义和现实需求。同时,开发下一代450mm集成电路用硅晶体、研究外加磁场对改善晶体质量的作用,对于我国未来制造450mm硅片具有重要的战略意义。
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江苏沧浪整流柜回收 江苏沧浪真空炉回收单晶炉晶体提拉系统平衡研究\提拉法单晶炉是晶体生长设备中重要的产品系列之一,用此方法单晶生长速度,晶体尺寸,晶体质量,易实现自动控制,因此获得了广泛的应用。而此方法生产单晶的主要因素取决于单晶提拉过程的平稳性,因此提拉系统良好的平稳性是提高单晶炉设备性能和生产效率的关键。以良好的平稳性为目标,本文对单晶炉提拉系统进行了系统平衡方面的研究。本文介绍了单晶炉提拉系统的功能、结构特点以及工作原理;讨论了单晶炉提拉系统静平衡与动平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系统完全平衡的条件,以及提拉系统不平衡校正的方法。

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