X射线源：是发射X射线的部件，常用于X射线管或放射性同位素。不同类型的X射线源对样品的分析有不同的适用性。
样品室：样品置放的地方，通常设计为真空或气体氛围，以避免空气对测量结果的影响。
探测器：用于接收测量到的荧光X射线，并将其转化为电信号。常见的探测器有硅漂移探测器（SDD）和气体探测器。
数据处理系统：负责分析探测器发出的信号，生成终的数据报告。现代的XRF仪器通常配备的软件，能够进行复杂的数据分析和处理。
应用新一代的高压电源和X光管，提高产品的可靠性；利用新X光管的大功率提高仪器的测试效率。
下照式：可满足各种形状样品的测试需求
准直器和滤光片：多种准直器和滤光片的电动切换，满足各种测试方式的应用
移动平台：精细的手动移动平台，方便定位测试点
高分辨率探测器：提高分析的准确性
X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得多也广泛。大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。下面我们来简单介绍一下该仪器的原理。