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经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，：在一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。当您选择油封泵时，您应该了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。