单双旋泵用爱发科真空泵油MMR-100日本松村ULVACSO润滑油

TECHNICAL INFORMATION MORESCO
N0304-02010-02
合成类旋转式高真空泵油 NEOVAC SO-M100
序言 NEOVACSOM是用高真空蒸馏装置将以烷基联苯醚为主要成分的合成润滑油精密分馏而制成的合成类旋转式高真空泵油。具有矿物油系产品得不到的高耐活性气体、耐热性、耐氧化性，特别适用于半导体制造装置等使用活性气体的排气系统，持点 1.低蒸气压蒸气压低，可以得到泵的界限到达压力。2.耐热、耐氧化性具有矿物油系产品达不到的耐热性、耐氧化性，可以长期使用。3.耐活性气体对于活性气体也可以抑制氧化劣化物产生，可长期使用。4.耐放 射 线也适用于放射线多的特殊环境。