冗余电源套件140DA084210
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10943 APPLIED MATERIALS ASSY, SLIT VALVE, METAL ETCH, VITON 0010-70615
13908 APPLIED MATERIALS DUAL BELLOWS EXTRACTION ASSY 0270-90229
13320 ASTI PURE SAINT-GOBAIN TEFLON PUMP REBUILT KIT KITPFD2STR
12838 TOKYO ELECTRON PCB, TAB22A-1/PURF2-LF W/ 2X 2L81-050032-11 2L81-050039-11
7947 ASYST FOUP INSERT 9700 25WAFER 0010775-000
9006 APPLIED MATERIALS PLASMA CHUCK ASSY
2207 GENERAL ELECTRIC VACUUM PUMP W/ FILTER & REGULATOR 5KHC36MN2HX #4044449-01
12573 APPLIED MATERIALS P5000 LOADLOCK LID,WAFER TXR CHMBR,0020-31747 0020-32930
根据流体的连续性方程,流过截面Ⅰ-Ⅰ的空气与流过截面Ⅱ-Ⅱ的空气流量是相等的。即: [img=337,66]http://zszl.cepee.com/cepee_kjlw_pic/files/wx/zdhyyqyb/2002-1/28-4.jpg[/img] 式中:Ff———浮标上平面位置截面的锥度玻璃管内腔面积 F1———Ⅰ-Ⅰ截面的玻璃管内腔面积 [img=200,36]http://zszl.cepee.com/cepee_kjlw_pic/files/wx/zdhyyqyb/2002-1/28-5.jpg[/img] 将(3)式代入(2)式并考虑到r1和r2相差极小,可以认为r1=r2=r,则可得: [img=337,129]http://zszl.cepee.com/cepee_kjlw_pic/files/wx/zdhyyqyb/2002-1/28-6.jpg[/img] 考虑到实际的气体是具有粘性的,所以通过Ⅱ-Ⅱ截面的气体流束的实际流速v2,将小于式(4)计算所得的流速。设: [img=337,106]http://zszl.cepee.com/cepee_kjlw_pic/files/wx/zdhyyqyb/2002-1/28-8.jpg[/img] 流过Ⅱ-Ⅱ截面的空气流束的流量Q1=v2(Ff-f)。 [img=334,186]http://zszl.cepee.com/cepee_kjlw_pic/files/wx/zdhyyqyb/2002-1/28-9.jpg[/img] 对于量仪来说,式(5)中的g、W、f和r都可以看成是常数,即流量Q1只与c和F成函数关系。 流量系数c与浮标的形状和气体的雷诺数有关,若雷诺数在一定的界限以上,流量系数就与雷诺数无关了,所以流量系数可以看成一个常数,这样,流量Q1就只是截面积F的函数。 玻璃管的内腔是圆锥形的,设其小端直径为D1,锥度为K,则距玻璃管下端为H的截面的内腔面积为: [img=351,97]http://zszl.cepee.com/cepee_kjlw_pic/files/wx/zdhyyqyb/2002-1/28-10.jpg[/img] 从式(6)可知:流过玻璃管的流量Q1只是浮标高度的函数。但是,我们需要通过流量的变化来测