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JordanValley多功能X射线衍射/反射仪Delta-X

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简介

Jordan Valley公司新设计的Delta-X是多功能的X射线衍射设备,可灵活应用于材料科学研究、工艺开发、与生产质量控制。Delta-X衍射仪的光源台和探测台的光学元件可以全自动化调控,并采用水平式样品台。Delta-X衍射仪可以在常规衍射模式、高分辨率衍射模式、X射线反射模式之间灵活切换。光学配置的切换完全在菜单式程序控制下由计算机完成,无需手动操作。自动化切换和准直不需要人员和操作设备,并确保每次切换都能达到佳的光学准直状态。

常规的样品测量可以通过Delta-X衍射仪,实现部分、乃至完全的自动化运行,自动化测量程序可以依客户需求进行定制。也可采用完全的手动模式操作Delta-X衍射仪,以便发展新测量方法,研究新材料体系。

数据分析或拟合可以作为测量程序的一部分,可实现完全自动化,也可依据需要单进行数据分析。 依半导体生产线的需求,将RADS和REFS拟合软件以自动化模式运行,允许在没有用户干扰的情况下自动完成常规性的数据分析,并直接完成数据拟合和结果输出。RADS和REFS也可以单安装,以便进行更详细的数据分析。


Delta-X衍射仪能满足科学研究所和技术开发中心 不同材料体系的测试需求。

elta-X 衍射仪的主要特点和优势
自动化进行样品准直、测试、和数据分析
客户可以自行设定测量的自动化程度
300mm的欧拉环支架设计,的样品定位和扫描
300mm的晶片水平式放置,且可以完整mapping
100º的Chi轴倾转范围、无限制范围的Phi轴旋转空间,可实现极图和残余应力测试
智能化的光学配置切换和准直。依测量需要,自动选择光学配置并实施光学准直
工业界先的设备控制软件和数据分析软件
高分辨率测角仪,以精密且准确的测量
高强度的光源台设计和光学元件组合,以实现快速测量
多方面广泛的测试技术和测量参数
由拥有超过30年的高分辨率X射线衍射经验的世jie级设计、制造,具有客户经验。

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北京亚科电子有限公司为你提供的“JordanValley多功能X射线衍射/反射仪Delta-X”详细介绍
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主营:光刻机,键合机,原子力显微镜,白光干涉仪
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