Renishaw雷尼绍TONIC增量式光栅系统
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¥3333.00
什么是RGSZ20栅尺?
RGSZ20是一款由薄型柔性钢带制成的带状栅尺,栅距为20 µm,钢带经过镀金具有更高的反射率和耐腐蚀性,并具有用户可选的IN-TRAC参考零位。可以使用背面自带的UHV兼容不干胶将其安装到金属、陶瓷和合成材料等大多数工程材料上。RGSZ20可用栅尺端压块固定到基体上,并与基体的热膨胀系数保持一致。栅尺成卷供货,用户可根据需要任意裁剪,可满足长达50 m的轴长需要。
什么是TONiC?
TONiC是雷尼绍推出的超小型非接触式光栅系统,速度可达10 m/s,与Ti接口配套使用时,在线性和旋转应用中分辨率达1 nm。由于安装公差宽松,并且只需按下按钮即可进行校准,因此TONiC系统的安装快捷简单。TONiC的动态信号处理功能可提高信号稳定性,而且电子细分误差低,通常小于±30 nm,从而有助于实现的运动控制性能。TONiC UHV将增量式真空光栅技术引入低至10-10 Torr的真空应用中,这类应用要求在紧凑的外形中保持。
带码道选项的不锈钢钢带
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 供应长度 | 读数头兼容性 |
搭配可选FASTRACK™的RTLC20 | ±5 µm/m | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 长10 m(可根据要求提供10 m以上长度) | TONiC、TONiC UHV |
细窄型不锈钢钢带栅尺
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 热膨胀系数 | 供应长度 | 读数头兼容性 |
RKLC20-S | ±5 µm/m | 20 µm | 用端压块固定栅尺端部后,保持与基体材料膨胀系数一致 | 长20 m(可根据要求提供20 m以上长度) | TONiC、TONiC UHV |
ZeroMet™直线硬栅尺
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 供应长度 | 读数头兼容性 |
RELM20/RELE20 | 1 m内为±1 µm,以后±1 µm/m | 20 µm | 0.75 ±0.35 µm/m/°C | 可达1.5 m | TONiC、TONiC UHV |
不锈钢直线硬栅尺
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 供应长度 | 读数头兼容性 |
RSLM20/RSLE20/RSLC20 | 1 m内为±1.5 µm,2 m内为±2.25 µm,3 m内为±3 µm,5 m内为±4 µm | 20 µm | 10.1 ±0.2 µm/m/°C | 可达5 m | TONiC、TONiC UHV |
镀金钢带
栅尺名称 | 精度 | 栅距 | 热膨胀系数 | 供应长度 | 读数头兼容性 |
RGSZ20/RGSN20 | ±15 µm/m | 20 µm | 使用端压块固定到基体,保持与基体相同的热膨胀 | 可达50 m(如需50 m以上长度,请联系雷尼绍) | TONiC、TONiC UHV |
不锈钢圆光栅
栅尺名称 | 刻划精度(取决于圆光栅直径) | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 圆光栅直径 | 读数头兼容性 |
RESM20/REST20 | ±3.97至±0.38角秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 μm/m/°C | 52至550 mm | TONiC、TONiC UHV |
精度不锈钢圆光栅
栅尺名称 | 安装精度(取决于圆光栅直径) | 栅距 | 20 °C时的热膨胀系数 | 圆光栅直径 | 读数头兼容性 |
REXM20/REXT20 | (≥100 mm直径)±1角秒 | 20 µm | 15.5 ±0.5 µm/m/°C | 52至417 mm | TONiC、TONiC UHV |
优点
栅尺长度按需裁剪,长可达50 m
超小型光栅具有动态信号调节功能,可提高运动控制性能
抗污能力强
诊断组件用以协助完成复杂安装并进行系统优化
特性
读数头尺寸:35 x 13.5 x 10 mm
分辨率达1 nm
速度达10 m/s
模拟或数字输出
低电子细分误差 (SDE):通常<±30 nm
可提供真空兼容型号
客户可选的IN-TRAC™光学参考零位
技术规格
测量标准 | RGSZ20:镀金钢带,带保护膜 还提供不带参考零位的栅尺,如RGSN20 |
读数头尺寸 (LxWxH) | 35 mm x 13.5 mm x 10 mm |
栅距 | 20 μm |
热膨胀系数 | 使用端压片将栅尺端部固定到基体后,栅尺的伸缩将与基体材料保持一致 |
精度等级 | ±15 µm/m(应用2点补偿时为±3 µm/m) |
参考零位 | 间距为50 mm时的IN-TRAC参考零位 选择器磁铁用于识别选定的参考零位 |
限位开关 | 单限位或双限位(订货时选择) |
栅尺长度 | 长达50,000 mm |
速度 模拟 数字 | (详见规格手册) -3 dB时可达10 m/s 可达10 m/s |
电子细分误差 (SDE) | 典型值 <±30 nm |
动态信号控制 | 实时信号调节,包括自动增益控制 (AGC) 和自动偏置控制 (AOC),可在操作期间实现性能优化 |
增量信号 模拟 数字 | 1 Vpp(周期为20 µm) 分辨率从5 µm至1 nm |
电气连接 | 电缆长度为0.5 m、1 m、1.5 m、3 m、5 m和10 m,采用微型插头(直接连接至TONiC接口) |
电源 | 5 V ±10%,<100 ma(模拟系统),<200 ma(数字系统)(无端接) |
振动(工作) | 55 Hz至2000 Hz时100 m/ s2 (值) |
冲击(非工作) | 1000 m/s2,6 ms,½正弦 |
工作温度(系统) | 0 °C至+70 °C |
防护等级 | 读数头:IP40 接口:IP20 |
工作原理
TONiC采用雷尼绍第三代特光学滤波系统,可对多个光栅周期进行平均,有效滤除脏污等引起的非周期性特征。名义方波光栅条纹也被滤去,以在探测器上留下一个的正弦波形。这里使用的是一个多条纹结构,它非常细,能够产生4个对称相位信号形式的光电流。这些结合在一起可免去DC器件,并可产生具有高光谱纯度和低偏置值的正弦和余弦输出,同时保持500 kHz以上的带宽。
包括自动增益控制、自动平衡控制和自动偏置控制在内的完全集成动态信号调节组合在一起,确保实现低电子细分误差 (SDE)(通常 <±30 nm)。
光学滤波系统的这一改进加上精选的电子器件,大带宽增量信号可达到10 m/s的速度,同时也是同类光栅中位置抖动(噪声)小的。在TONiC Ti接口内通过CORDIC算法细分,同时利用其他抗噪电子器件进一步增强高分辨率型TONiC的抗噪功能,从而实现抖动水平仅有0.5 nm RMS。
将IN-TRAC参考零位完全刻划在增量式栅尺上,并通过读数头内部的分离光电检测器进行检测。如图所示,参考零位分离式探测器直接嵌入到增量码道线性光电二极管阵列的中心,尽量避免出现扭摆失相。产生参考零位输出信号,在所有速度下双向重复精度都能够达到单位分辨率。这种特的设计也受益于自动校准程序,该程序对参考零位进行电子定相,并优化动态信号调节。
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