臭氧发生器中广泛使用，但制造成本较高。按臭氧发生器结构划分，有间隙放电式（DBD）和开放式两种。间隙放电式的结构特点是臭氧在内外电极区间的间隙内产生臭氧，臭氧能够集中收集输出使用其浓度较高，如用于水处理。开放式发生器的电极是裸露在空气中的，所产生的臭氧直接扩散到空气中，因臭氧浓度较低通常只用于较小空间的空气灭菌或某些小型物品表面消毒。间隙放电式发生器可代替开放式发生器使用。但间隙放电式臭氧发生器成本远开放式。
使用说明
1、臭氧发生器安装人员要经过技术培训才能开机维修；
2、使用臭氧机杀菌时，严禁工作人员在浓度较高的臭氧环境中上班和工作；
3、切记设备保养或维修时 处理电源断掉和把臭氧泄气的状态下进行，能够很好的确保人员安全维修；
4、如有异常，请立即断电或者通知的人员进行检修。
5、合格的接地线，安全可靠的接地，禁止安装在氨气易泄露或有发生爆炸危险的危险区
6、对工艺流程臭氧发生器的应用方法操作人员应知晓，并且能熟练的操作此消毒设备。
7、如发生臭氧泄漏的情况需要时间关闭臭氧发生器，并开启通风设备进行通风处理后，即时退出臭氧发生器使用空间，等空间残余臭氧降至安全范围再进入。
工艺流程如下：
得到臭氧消毒水的工艺流程如下：
空 气 → 制氧系统 → 臭氧发生系统
↓
水 源 → 气液混合系统 → 臭氧水
臭氧消毒杀菌机，采用大自然空气为原料以电子方式高频高压放电产生高浓度臭氧比氧分子多了一活泼的氧原子臭氧，化学性质特别活泼，是一种强氧化剂，在一定浓度下可迅速杀灭空气中的细菌，主要用来消除生活环境中各种有毒物质和有害微生物。臭氧具有不稳定性臭氧在常温下可以自行还原为氧气，不会污染环境。而且，原料广泛，水、空气都是制取臭氧源，符合保护环境的要求。在纯水、矿泉水、无盐水的生产中，臭氧可起到消毒、灭菌、增氧、净化和改善口感的作用；在污水处理中，臭氧可处理污水中难处理的化学物质，并有脱色、去异味作用。它在水处理工程的广泛应用。
臭氧的应用主要以发生量来确定，分为气态下消毒和液态下消毒两大类。臭氧发生量和使用量一般按照发生量的额定发生量乘以时间来确定，但在不同的用途和不同的场所应计出衰减量而后确定。臭氧发生器在使用中，气源的配置直接影响臭氧的发生浓度、产量和纯度，气源一般分为普通气源、干燥空气源、富氧气源和工业氧气气源四种，以上气源的配置 ，在发生装置相同的情况，浓度和产量依次递增。按照应用常识，一般不应配置普通气源，因为这会影响发生装置的连接使用寿命并导致发生量不稳定。
常用的气源按用途大体可分为下列几种：
1）干燥气源——空间消毒、自来水处理、游泳池水、养殖水、生产循环水、中水回用等
2） 富氧气源——臭氧浓度需求较高的使用场所，如纯净水、矿泉水、污水处理、医药食品车间等
3） 工业氧气源——纯度要求较高、浓度需求较重要、小气量应用场所等
3. 用于大型空间的消毒应用，如医药、食品等行业车间的杀菌消毒，一般应安装管路分通到车间内，使臭氧分布均匀，也有的通入中央空调风道管路，但这种方式有时会造成空调风道金属件的腐蚀和臭氧消耗。
4. 用于水处理，则主要配置臭氧溶于水的投加装置，一般分为曝气式（直接曝气或氧化塔式）、文丘里射流器式、旋涡负吸式或HICHINE泵混合式样等几种，以上其溶于水效率可依次提高，HICHINE泵式效率可达95%以上。
1）曝气式：自来水、养殖水、生产循环水、生活污水、工业废水等
2）文丘里射流式：二次供水、纯净水、矿泉水、养殖水冷却、游泳池水等
3）负吸式：小水体应用
4）气液混合泵式：小水体应用或臭氧消毒水应用