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美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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具体实施方式为了使本发明的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本发明作进一步详细的说明,一种连续拉晶单晶炉,它包括括底座1、主炉室2、副炉室3、下驱动装置4和上驱动装置5,所述主炉室2和下驱动装置4均安装在底座1上,所述主炉室2内设置有炉室坩埚21,所述下驱动装置4和主炉室坩埚21相连,以便通过下驱动装置4驱动主炉室坩埚21升降,所述副炉室3和主炉室2相连通,所述上驱动装置5安装在副炉室3的上端,以便通过上驱动装置5驱动拉晶,其特征在于,它还包括:外部加料器6,所述外部加料器6内设置有加料腔61,所述加料腔61内设置有加料坩埚62,所述外部加料器6的盖装有上盖63;分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,一种实用的单晶炉提拉速度控制系统\前言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,在半导体材料中用量和用途广的是半导体硅。当今 95 %以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成电路是硅集成电路。生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用低速提拉、生长过程均速提拉的办法制成的。提拉速度的控制性能将直接影响到晶体的质量。当今 ,随着 IT产业的迅速发展 ,单晶硅生产市场需求剧,研制一种满足工艺要求、低成本的提拉速度控制系统具有重要的实际意义。

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