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无尘洁净烘箱由外壳、烘烤区、加热系统、转子流量计,气体减压调节阀、排气口等部件组成。箱体由簿钢板加工焊接而成、烘烤区内壁选用不锈钢板、箱体与内室之间填充硅酸铝纤维作保温材料。箱门与烘烤区边框装有保温密封条(耐高温门封条和迫紧装置)因此有效地了箱体的密封性能、节约氮气,洪烤区内配置抽动的三层载物网板( 可按需设计)。

无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

加热1、加热步骤在气压稳定状态下进行,否则易导致内外压强及温度差,造成外部大气冲入箱内等突发状况;2、升温过程中,加热指示灯长亮,达到设置温度后,加热自动停止,同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时,加热再次启动,加热指示灯亮;3、加热指示灯及温度需正常显示,若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。

无尘洁净烤箱内外应经常保持清洁,长期不用应罩好塑料防尘罩,放在干燥的室内,高温状态下禁止打开箱门,加热过程中务必风机是正常运转,严禁安装在潮湿的环境下运行,操作人员熟悉无尘洁净烤箱的结构、性能、工作原理及调整方法,操作方法及保养知识。

无尘洁净烤箱内物品放置切勿过挤,留出空间,以利热空气循环,无防爆装置,不得放入易燃易爆物品干燥,使用安全,易耗品如密封圈、热风电机、加热管、拉手等应定期保养,清洁灰尘。要做好无尘洁净烤箱的日常维护保养工作,使用、维护应有专职人员进行,保养时先切断电源,安全。

无尘烤箱是一种用于制造、低污染的产品的设备。它的原理是将材料在高温环境下烤制,可以有效地降低灰尘的排放,预防材料在烤箱内变质。在过去,制作特定产品时,在低温下烘烤,因此产生的灰尘量很大。通过使用无尘烤箱,可以有效地降低灰尘污染产品的质量和洁净度。

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