RFPowerGenerator射频源维修射频匹配器维修
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RF MATCH射频匹配器维修范围有ADVANCED射频电源匹配器;ASTEX射频电源匹配器;NP射频电源匹配器;ASTECH射频电源匹配器;SEREN射频电源匹配器;射频电源匹配器;KYOSAN射频电源匹配器;ENI射频电源匹配器;DAIHEN射频电源匹配器;射频电源匹配器;TRAZAR射频电源匹配器维修等
应用范围:主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、微波发生器等,提供设备维护维修保养整包、批量产品维修。
主营业务:提供维修服务
一、维修真空溅射镀膜设备、等离子清洗设备、真空贴合机、设备上的电控部件:射频电源、射频器、靶材电源、高压电源、微波电源、磁控溅射电源、中频电源、高频电源、远程等离子体源、霍尔离子源、脉冲电源、直流电源、氧化源电源、特种电源、匹配器、膜厚仪等。
二、维修仪器设备:试验机、检测仪、分析仪、光度计、镭射切割机、激光器等。
射频电源设备主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜,半导体薄膜、离子注入、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、研究所等设备的高压、直流、射频电源。