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泰州姜堰涡轮分子泵回收泰州姜堰真空炉回收

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基本介绍编辑1、主机部分:机架,双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2、加热器电源:全水冷电源装置采用专利电源或原装进口IG及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器,构成新一代高频开关电源。采用移相全桥软开关(ZVS)及CPU控制技术,提高了电能转换效率,不需要功率因数补偿装置。3、计算机控制系统:采用PLC和上位工业平板电脑PC机,配备大屏幕触摸式HMI人机界面、高像素CCD测径ADC系统和具有知识产权的“全自动CZ法晶体生长SCADA监控系统”,可实现从抽真空—检漏—炉压控制—熔料—稳定—溶接—引晶—放肩—转肩—等径—收尾—停炉全过程自动控制。
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工作原理如下:取出晶棒后,将硅料加入加料坩埚62,盖上外部加料器6的上盖63,将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64,硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化,熔化后的硅料流入主炉室坩埚21,当外部化料器7中的硅料加完后,再关闭旋阀64,把外部加料器6充常压,打开外部加料器6的上盖63继续加料,如此循环,进而完成外部加料、化料,本发明可实现连续拉晶,选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒,可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间,进而提高生产效率;本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开,进而方便拆炉和清理,本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件;本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,直拉式单晶生长炉的制作方法、专利名称:直拉式单晶生长炉的制作方法、技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法制造硅单晶的单晶炉剖面示意图;图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为炉底护盘、12为输 入管、11为分布有出气孔11-1的环形气体分布器、13为排气口。直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入,并与炉内生成的 一氧化硅及杂质粉尘混合,由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石 墨制成, 一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器 件上,从而影响了单晶炉的使用寿命。

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